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真空干燥箱除气的评价分析方法

[导读]真空干燥箱除气的评价分析方法。

器件被密封之前,为了让吸附在内腔表面的水汽以及其他未挥发的污染物能够“动”起来,需要提供合适的温度,所以温度是第一要素。相对而言,吸附在内腔表面的水汽通过设定合适的温度比较容易释放出来。但是,对于在导电胶内部含有的水汽,则需要更高的温度来给水汽分子提供更多的能量,并通过适当延长烘烤时间,使得水汽分子从导电胶内先通过扩散的方式慢慢渗出导电胶的表面,然后再由表面释放出来。


对于和器件内部水汽里的氢原子结合成的氧化物,因其化学应力强,其应力比吸附在器件表面的分子高约100 倍以上,因此需要非常高的能量才能去除。另外,因为残留在里面的水分子因化学变化及应力作用,被束缚在器件表面,而且非常缓慢地释放,所以为了完全释放需要较长的时间。因此除了高温烘烤、氮气冲刷以及抽真空外,还要考虑时间因素,必须保持足够的时间将污染物及水汽排除。


根据真空烘烤除气的原理,温度、烘烤时间、充气时间、真空度是真空烘烤除气的4 个关键要素,也是影响真空烘烤除气效果的决定性因素。


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